方阻测定仪用于测量半导体材料（硅单晶、锗单晶、硅片）电阻率，以及扩散层、外延层、ITO导电薄膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。它主要由电气测量部份（简称：主机）、测试架及四探针头组成。
仪器是配精度为0.05%的恒流源、恒流源开关以及双数字表，在测量电阻率的同时，数字表监测电流变化，仪器可选配测量软件用于测量硅片时可自动进行厚度、直径、探针间距的修正，并计算出硅片电阻率、径向电阻率的MAX百分变化、平均百分变化、径向电阻率不均匀度。
规格参数
测量范围：
测电阻率：0.00001～1999.9Ω·cm
测方块电阻：0.0001～19999Ω/□
恒流源：
直流输出电流：0.001～100mA五档可调
量程范围：0.001～0.01mA、0.01～0.10mA、0.10～1.0mA、1.0～10mA、10～100mA
恒流精度：±0.05%
直流数字电压表：
测量范围：0～19.999mV
灵敏度：1μV
基本误差：±（0.004%读数+0.01%）
输入阻抗：≥1000MΩ
测量精度：1～1000Ω·cm≤3%
供电电源：AC 220V±10%，50z/60Hz
功率范围：12W
环境温度：23±2℃
相对湿度：≤65%
四探针电阻率/方阻测试仪0.00001-1990Ω·cm（低阻型）
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